大型凸輪式傳輸矩形閥是一款專為光伏、新能源行業(yè)的真空環(huán)境制程而設(shè)計(jì)的大尺寸傳輸閥，采用凸輪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)開閉，運(yùn)動(dòng)平滑且低沖擊力，性能穩(wěn)定，主要用于光伏行業(yè)大型真空腔室間的硅片等物料的傳輸。

閥門采用創(chuàng)新式單凸輪、雙彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及更合理的氣路布置，可大幅減少作動(dòng)時(shí)X/Y軸方向的震動(dòng)，保證內(nèi)部結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性，也降低了閥門維護(hù)周期和潛在的事故率。